[스마트경제=복현명 기자] 세종대학교 나노신소재공학과는 지난달 21일 세종대 광개토관에서 전문가 특강을 진행했다.
이날 특강은 이웅규 숭실대 교수가 ‘MIM Capacitors and Interface Properties’라는 주제로 진행했다.
이 교수는 원자 크기 단위의 두께로 증착시키는 방식인 ALD(Atomic Layer Deposition)의 단점을 보완하는 연구를 진행하고 있다.
또한 capacitor의 capacitance 특성과 연관된 TiO2 혹은 SrTiO3(STO)의 결정화에 대한 연구, 다양한 방식과 온도로 결정화도를 높이려는 시도를 하고 있다.
이번 특강은 세종대 나노신소재공학과 학생들을 대상으로 반도체 소재(MIM capacitor)에 관한 최신 연구를 소개해 DRAM 반도체 소재에 대한 전공 역량을 향상하기 위해 개최됐다.
특강은 ▲Introduction ▲Atomic Layer Deposition ▲High-k Dielectrics for DRAM Capacitors(ZrO2/TiO2/SrTiO3) ▲Summary 순으로 진행됐다.
복현명 기자 hmbok@dailysmart.co.kr
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